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3.3.1 灯泵浦Nd: YAG激光器
这种灯激励激光器的Nd: YA(.棒通常放在双椭圆反射器的
公共焦轴卜,两个激励灯放在两个外焦轴一卜。
I.活性介质(品体棒);2.输出镜;3.后镜;4.泵浦灯;5.泵浦光;
6.冷却水;7.反射镜;8.受激发射;9.激光束
大功率激光器中,典型的Nd: YAG棒一般是长150mm.直径7~lOmm。泵
浦过程中激光棒发热,限制r每个棒的较大输出功率,因此必须保持激光棒晶体
内部的产热和外壁冷却造成的温度梯度较低,以确保在晶体棒内形成的残余应力
低于晶体的开裂极限。在材料加上-fl,单棒Nd:YAG激光器的功率范围为50~
800W.所产生的光束质量为5- 50mm.mrad。这种激光器的控制电路和电源设
备通常是放在独立的控制柜中,激光头可通过光纤直接与加工系统安装在‘起。
3.2.2轴流式COz激光器
日前,大多数C02激光器是按照快速轴流的原理设计的,主要原因足这种
激光器提供的光束质量能够满足多种激光加工应用。管中产生放电的同时,激光
气体混合物沿放电管高速流动,以保证热量的有效散失(图3-4)。为了获得较
高的流速,通常使用罗茨排风机、径向排风机或涡轮机。
由图3-4可以看出,几个功能部件在谐振腔中采用了光学串联方式连接,这
样既提高了功率,同时又保持了各部分独立设计的特点。
冈3-4 直流激励快速轴流式()(五激光器的基本结构
1.激光束;2.输出镜:3.气体出口;4.直流激励放电;5.直流电极;6.折叠镜;7.气体入口;
8.后镜
快速轴流式C(2激光器的功率输出范围可以从几百瓦到20kW以上。它的
一个典型的特征是控制单元与激光头分离。大功率快速轴流式a五激光器的主
要优点体现在:
(1)采用模块化设计原理;
(2)谐振腔的设计简单(反射镜和光学元件较少);
(3)谐振腔是光学稳定的,从而避免了衍射损耗(可达20kW功率);
(4)谐振腔设计采用了特殊的反射镜排列方式,功率大于lOkW时具有额外
的光学稳定性;
(5)功率大于lOkW以上,射频发生器集成到谐振腔中,无须使用高电限电
缆传输在外部产牛的射频功率;
(6)气体和光学系统采用的冷却回路非常简单;
(7)采用常规电源可获得良好的1-作效率,降低r运行费用。
3.2.3扩散冷却COz激光器
在流动式C()2激光器中,激光气体混合物密封在放电管中,如果只能通过
热传导方式冷却,尽管外部管壁叮以进行有效的冷却,但此时h米管长只能产生
50W的光束能量,因此这种方法难以造出结构紧凑的高功率激光器。
同快速流动式激光器相比,板条式(弛激光器的结构更加紧凑。在两个人
面积铜电极之间进行射频气体放电,见图3-6,电极之间的间隙很小,通过水冷
电极放电腔可达到很好的散热效果,获得相对较高的能量密度。不稳定谐振腔采
图3-6板条式∞2激光器的基本结构
l.激光束;2.光束整形单元;3.输出镜;4.冷却水出口;5.射频激
励;6.冷却水入口;7.后镜;8.射频激光放电;9.波导电极用柱状反射镜产生高度聚焦的激光光束。在激光器的外部采用水冷反射式光束元
件将矩形光束转换成旋转对称的光束,光束传播系数K≥0.8。
除了紧凑与坚固的设计之外,这种激光器较大的优点是气体消耗小。流动式
气体激光器需每隔‘定时间添加新的激光气体。扩散冷却激光器只需将装有10
升混合气体的小气瓶放在激光头内部,就能持续上作1年以上,而不需要再安装
外部的供气系统。图3-7所示为2.5kW的板条式C()2激光器外观。
鹌3-7 2.5kW板条式(’【k激光器
扩散冷却板条式C02激光器的激光头尺寸较小,容易与加工机床集成在一
起,系统可设计为与激光头·起运动,用于船厂或车间里的大型龙门架时,在整
个工作区域中都可以保证较好光束质量,这对于激光切割尤为重要。其技术优点
如下:
(1)结构紧凑;
(2)光束质量好;
(3)无气体换热要求;
(4)光损失低;
(5)热稳定性高;
(6)气体消耗量低,无需外部气体;
(7)没有气体流动,囚此光学谐振腔无污染;
(8)维护-[作量少。
表3-1给出了上述几种(X)2 7 C体激光器的性能比较。表3-1 不同类型C02激光器性能比较
3.3 Nd: YAG固体激光器
0Q激光器是以CQ混合气体作为激光活性介质,通过放电产生激励。固
体激光器中,是采用掺有钕(Nd)或钇(Yb)金属离子的YAG晶体作为激光
活性介质,主要通过光泵浦来发射激光。
Nd: YAG激光器发射的激光波长为1.06Um,通过气体放电灯来激励时,电
效率约为3960激光活性物质钕(Nd3+离子)位于钇一铝一石榴石( Y-A-G)组成
的固态晶体中,通常呈棒状,当光束质量较高时,也有可能为片状或碟状。脉冲
激光器(P激光器)通过氪闪光灯产生光学激励,而大功率连续激光器(CW激
光器)中,则是使用氪弧光灯。在新近开发的连续激光器中,应用了激光二极管
产生光学激励。同灯式泵浦激光器相比,它能够将光束质量和总效率提高3倍
左右。
工业应用的脉冲Nd: YAG激光器的电源系统较为特殊,可输出较高的脉冲
功率,但平均功率较低,峰值功率可以是平均功率的15倍。
目前工业上应用的连续Nd: YAG激光器的输出功率已经可以达到SkW以
上。连续Nd: YAG激光器由于是连续的发射激光,与脉冲系统相比可达到更高
的加工速度。此外,连续Nd: YAG激光器还具有Q开关的特殊工怍模式。
同CQ激光器相比,YAG激光器主要优势是光束可通过光纤进行传输,且
材料对YAG激光的波长范围具有较高的吸收率,可用于加工高反射率的材料
(如铝和铜)。